2019-10-29清華大學(xué)微電子研究所 2011.06
氣體種類：Ar、He、Cl2、SF6、NH3、C4F8、HCL、SiH4、PH3、N2O、CDA工程內(nèi)容：一次配管、VMB、特氣柜、大宗氣體管道焊接、安裝及檢漏...
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