氣體種類：Ar、He、Cl2、SF6、O2、CF4、CHF3、NH3、C4F8、5%SiH4和95%Ar、GeH4、HBr、BCL3、 N2
工程內(nèi)容：特氣柜、工藝氣體管路、大宗氣體管道焊接、安裝及檢漏
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